FS-Pro 半導體參數測試係統

FS-Pro 釆用工業通用的 PXI 模塊化硬件架構，係統擴展性強， 還支持多通道並行測試，可進一步提升測試效率。係統內置專業測試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預設和強大的測試功能，可實現非常友好的用戶即插即用體驗。

FS-Pro 可廣泛應用於各種半導體器件、LED 材料、二維材料器 件、金屬材料、新型先進材料與器件測試等。

基於在產線測試與科研應用方麵的優異表現，FS-Pro 不僅被眾 多芯片設計公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全麵的測試能力更在科研學術界受到了廣泛關注和認可，目前已被數十所國內外高校及科學研究機構所選用。

應用範圍：

被半導體工業界和眾多知名大學及科研機構釆用作為標準測試儀器

集成功能：

高速高精度 IV/CV測試能力

脈衝式 IV測試能力

任意線性波形發生與測量能力

高速時域信號釆集能力

與 9812 對準的低頻噪聲測試能力

使用方式：

通過內置專業軟件 LabExpress 的豐富功能實現測試

操作簡單靈活，無需編程即可實現自由的波形發生或電壓同步與跟隨

係統架構：

PXI標準機箱，可擴展架構,支持通過多機箱擴展SMU卡數量

支持並行測試：

內置功能強大的測試算法

支持多通道並行測試

成倍提升測試效率

硬件規格：

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流

高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度

噪聲測試帶寬：高精度最高 100kHz，超低頻最高 40Hz

噪聲測試速度：<10s/bias（大於 0.5Hz 頻率分辨率）

內置脈衝測試：200V 電壓，3A 脈衝電流，最小 50us 脈寬

內置 CV測試：200V/10kHz，最低可測至 20fF

外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）

                              40V/10MHz（高帶寬型）

高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1us，10 萬點數據

噪聲測試最小阻抗：500Ω

噪聲測試分辨能力：最低 2e-28A2/Hz

噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz

高精度快速波形發生與測量套件 ：2 通道，SMA 接口

                                                       快速 IV 測試：±10V 電壓，最大 10mA 電流

                                                       SMU 直通：±25V 電壓輸入，最大 100mA 電流

                                                       100MSa/s 采樣率，最小推薦脈衝寬度可達 130ns

軟件功能：